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場發(fā)射掃描式電子顯微鏡FEGSEM,優(yōu)缺點(diǎn)？

來源:jing

時間:2012-9-24 9:00:54

場發(fā)射掃描式電子顯微鏡(FEGSEM：Field Emission Gun Scanning Electron Microscopy)

使用六硼化鑭(LaB6)或納米碳管(CNT)制作成針尖小于100nm(納米)的納米尖端來發(fā)射電子束(場發(fā)射)，

納米尖端可以使電子束的直徑縮小到10nm(納米)左右，

其原理與掃描式電子顯微鏡(SEM)相同，如圖4-54(d)所示為場發(fā)射掃描式電子顯微鏡(FEGSEM)照片，
場發(fā)射掃描式電子顯微鏡(FESEM)的解析度更高，可以用來觀察大約10nm(納米)的結(jié)構(gòu)，但是只能觀察物體表面的高低起伏，
所以表面平整的物體無法使用。

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